槽式碱抛自动化是一款将硅片从料盒中自动装载至花篮中,搬运到槽式工艺机中并在工艺后取出花篮的设备。
1. 实时监控料位,杜绝料位不稳导致的带片、搭片
2. 料盒顶升,独立顶升伺服,保证物料不均衡时的设备稳定产出
3. NG剔除彻底,没有碎片卡住轨道或进入花篮
4. 硅片入花篮位置整齐度可做到±1mm,入底齿且无崩边
5. 机器人抓取花篮进行装卸压杆,伺服电机控制压杆升降
参数 | 参数值 |
产能 | 32000 半片 / 小时 |
碎片率 | ≤0.01% |
EL不良 | 0% |
正常运行时间 | 98.5% |