老子有钱lzyq88

高温半片自动化上下料机
产品说明:

扩散&LP自动化是一款将未工艺硅片从花篮取出插入到石英舟中,并将工艺后硅片插回花篮的设备。

设备特性:

1. 结构设计合理,产能高,尺寸小

2. 陶瓷吸盘,吸盘具有导片涂层,大大减少静电吸附导致的碎片

3. 离子发生器,除静电效果优异,且寿命提高一倍以上

4. 防翘曲设计,针对BC半片硅片特点,卡片低、碎片少

5. 各部件均做振动优化,减少硅片晃动导致的崩边

产品参数:
参数 参数值
产能 24000半片/小时
碎片率 ≤0.02%
EL不良 ≤0.02%
正常运行时间 98.5%